Grossformatig: Fotomasken als Schlüsselelemente in der Halbleiterindustrie

Früher wie heute sind Fotomasken Schlüsselelemente der Halbleiterindustrie. Sie kommen vorwiegend in Wafer-Steppern (Maskenprojektionslithografie) oder im Mask Aligner (Schattenwurflithografie) zur Herstellung von integrierten Schaltkreisen (Mikrochips) zum Einsatz.

Die Herstellung von Fotomasken erfolgt bei IMT mit zwei Direct-Writing-Lasermaschinen (DWL). Die Technologie erlaubt es uns, Masken zwischen 9 x 9 und 24 x 32 Zoll herzustellen, und wir nutzen die Technik zur Herstellung von Masken für den Mask Aligner.

Die Wahl des Substrats hängt in erheblichem Mass von der Endanwendung ab. Für Umgebungen mit starken Temperaturschwankungen beispielsweise werden Substrate mit geringem thermischem Ausdehnungskoeffizienten (Zerodur, Fused Silica) verwendet.